β射線法揚塵監測設備自動測量和記錄濃度，采用的是貝塔射線吸收法的工作原理，將C-14作為發射源，其發射恒定的高能量電子，樣品空氣通過切割器以恒定的流量經過進樣管，顆粒物截留在濾膜上。

β射線法揚塵監測系統是一套自動連續測量空氣中顆粒物的監測儀，通過分割器分離PM2.5、PM10、TSP顆粒，應用β射線衰減測量技術，并結合成熟的靈犀系列平臺，實現對PM2.5、PM10、TSP等要素的自動、準確與系統的檢測。該儀器的整體結構設計合理，可用導軌固定在機柜上。